Verfahren zur Strukturierung einer Schicht aus Silikon und Verwendung einer hierfür entwickelten Mischung
作者： Eric Gottwald , Andrea Schneider , Martina Reinhardt , Stefan Giselbrecht , Tim Scharnweber
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摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung einer Schicht aus Silikon. Hierzu wird zunachst eine Silikon bereitgestellt und anschliesend zumindest teilweise mit ultraviolettem Licht Wellenlange von 10 nm bis 400 belichtet. Das selektive Herauslosen der belichteten Bereiche erfolgt mittels eines Entwicklers, Mischung einem aliphatischen Alkohol Lauge im Verhaltnis 2 : 1 enthalt. weiterhin die Verwendung Durchfuhrung dieses Verfahrens besonders entwickelten als Entwickler zum selektiven Bereichen
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