The Effects of Trace Amounts of Water on the Thermal Oxidation of Silicon in Oxygen
作者： E. A. Irene
DOI: 10.1149/1.2401753
关键词: Trace Amounts 、 Thermal oxidation 、 Silicon 、 Oxygen 、 Inorganic chemistry 、 Materials science 、 Environmental chemistry
摘要:
harvard.edu
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