Plasmas micro-ondes en cavité résonnante à la pression atmosphérique : étude des plasmas d'hélium et applications au traitement des matériaux

摘要: Les travaux presentes dans ce memoire portent sur l’etude des plasmas d’helium generes par micro-ondes en cavite resonnante a la pression atmospherique et leurs applications traitement de surfaces. Tout d’abord, un etat l’art les est presente. Ensuite, modele collisionnel-radiatif decharge post-decharge pur etabli. resultats du sont compares aux mesures experimentales obtenues 2500 K jeu sections efficaces constantes cinetiques valables pour ces conditions propose. Experimentalement, analyses spectroscopie d’emission d’absorption employees. La temperature gaz determinee methode spectre rotationnel synthetique fonction puissance, concentration nature impuretes introduites l’helium. Il s’avere que le volume plasma parametre determinant gaz. metastable He(23S), continue pulsee, absorption laser. En continue, divisee trois avec 360 ppm d’impurete, l’impurete n’ayant pas d’importance. revanche, determinante. realisees indiquent He+ non He2+ serait l’ion majoritaire. Concernant type plasma, nous avons travaille uniquement. Nous demontre faisabilite procede depot SiOx partir d’hexamethyldisiloxane. aussi montre nitruration titane haute etait possible