Pure‐Silica Zeolite Low‐k Dielectric Thin Films
作者： Z. Wang , H. Wang , A. Mitra , L. Huang , Y. Yan
DOI: 10.1002/1521-4095(200105)13:10<746::AID-ADMA746>3.0.CO;2-J
关键词: Carbon film 、 Chemical engineering 、 Thin film 、 Low-k dielectric 、 Zeolite 、 Materials science
摘要:
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