Verfahren zum Herstellen einer Porenvorrichtung für eine Analyse von Molekülen, mikrofluidisches System zum Analysieren von Molekülen, Steuergerät und Verfahren zum Analysieren von Molekülen
作者： Lutz Theresa , Roelver Robert , Seidl Karsten , Lemuth Karin , Purkl Fabian
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摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Porenvorrichtung (110) fur eine Analyse von Molekulen (105). Das weist einen Schritt des Ausformens zumindest Mulde in ersten Oberflache eines Substrats (120) auf. Auch das Anordnens Metallschicht einem Bereich der ferner Entfernens auserhalb Muldengrundes Hierbei wird dem Muldengrund Metallpartikel belassen. Zudem Bildens Pore (125) Durchlassen zu analysierenden Molekuls (105) bis abgewandten, zweiten unter Verwendung Metallpartikels
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