Propiedades mecánicas de nitruros metálicos depositados con UBM: tecnología eficiente y ambientalmente limpia

摘要: El objetivo de esta investigacion es estudiar la influencia configuracion del campo magnetico en un sistema sputtering las propiedades mecanicas recubrimientos CrN, TaN, TiN, nbn y ZrN. Se cuantificaron diferentes configuraciones a traves coeficiente desbalanceo KG, que proporcional al punto cero el magnetren. En este trabajo depositaron peliculas con dos magnetico,KG=1.3 0.825. efecto mas importante se observo dureza pelicula. Al depositar sobre acero AISI M2 304, mejoraron resistencia desgaste aumentar parametro energia; los valores altos obtuvieron para NbN Otra consecuencia cambio fue variacien esfuerzos residuales compresion. La variacion alta presento TaN mientras CrN presentaron menor concentracion esfuerzos.