Electrical and optical properties of Ag/ZnO multilayer thin film by the FTS

摘要: 대향 타겟식 스퍼터링법 (Facing Targets Sputtering)을 이용하여 유리기판위에 증착한 Ag/ZnO 다층 박막의 특성을 연구하였다. Ag 높은 전도도와 투과율을 나타내는 공정조건을 찾기 위하여, 증착시간, 기판온도 변화에 따른 Ag박막의 살펴보았으며, ZnO 두께 다층박막의 살펴보았다, 10초간 박막은 연속된 막구조를 가지지 못하여, 30초간 증착된 막에 비해 전기적, 광학적 특성이 저하되는 것을 확인할 수 있었다. AFM 측정 결과 거칠기(Rrms) 값의 따라 Ag/ZnO박막의 특성에 영향을 미쳤으며, 거칠지 않은 표면을 지닌 박막에서 박막 증착 시 좋은 나타냈다. 제작된 four point probe, UV/VIS spectrometer, AFM을 사용하여 광학적, 구조적 조사하였다. 제작결과 면저항은 9.25 [Ω/sq.]을 나타내었으며, 가시광영역에서 광투과율은 80%이상을 나타내었다.