Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren
作者： F. Kohl , G. Urban , J. Steurer , F. Olcaytug , A. Jachimowicz
DOI: 10.1007/BF03159609
关键词:
摘要: Neuere Entwicklungen im Bereich der Dunnschichttechnologie und mikromechanischen Bearbeitung von Silizium haben thermische Sensoren mit erstaunlichen Eigenschaften hervorgebracht: Die Kombination Thermistoren aus amorphem Germanium, dunnen Membranen CVD Siliziumnitrid selektiv anisotrop geatztem Siliziumtragern ermoglichen die Herstellung miniaturisierten hochempfindlichen Temperaturfuhlern, Infrarotdetektoren, Schallschnellerezeptoren, Stromungssensoren Durchflusmessern fur Gase Flussigkeiten. Dieser Beitrag prasentiert am Halbleitertechnologielaboratorium des Instituts Allgemeine Elektrotechnik Elektronik erzielten Ergebnisse einschlagiger Forschungsarbeiten.
springer.com
sci-hub.se 参考文章(6)
G. Rieder, F. Olcaytug, Preparation and dielectric properties of Si3N4 thin films Thin Solid Films. ,vol. 89, pp. 95- 99 ,(1982) , 10.1016/0040-6090(82)90485-0
Nevill F. Mott, E. A. Davis, Kurt Weiser, Electronic processes in non-crystalline materials ,(1940)
P. C. Shan, Z. Çelik‐Butler, D. P. Butler, A. Jahanzeb, C. M. Travers, W. Kula, Roman Sobolewski, Investigation of semiconducting YBaCuO thin films: A new room temperature bolometer Journal of Applied Physics. ,vol. 80, pp. 7118- 7123 ,(1996) , 10.1063/1.363724
A. Tanaka, S. Matsumoto, N. Tsukamoto, S. Roh, T. Endoh, A. Nakazato, Y. Kumazawa, M. Hijikawa, H. Gotoh, T. Tanaka, N. Teranishi, Silicon IC Process Compatible Bolometer Infrared Focal Plane Array Proceedings of the International Solid-State Sensors and Actuators Conference - TRANSDUCERS '95. ,vol. 2, pp. 632- 635 ,(1995) , 10.1109/SENSOR.1995.721911
M Müller, W Budde, R Gottfried-Gottfried, A Hübel, R Jähne, H Kück, A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor Sensors and Actuators A-physical. ,vol. 54, pp. 601- 605 ,(1996) , 10.1016/S0924-4247(97)80022-2
R A Street, Electronic Processes in Noncrystalline Materials Physics Bulletin. ,vol. 24, pp. 301- 303 ,(1973) , 10.1088/0031-9112/24/5/033