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作者: P. Doppelt , K. Leifer , I. Utke , D. Tonneau , H. Dallaporta
DOI:
关键词:
摘要: Keywords: [NRG] Note: Proc. ECS, Chemical Vapor Deposition: CVD XV (15th) Reference LOA-CONF-2000-007 Record created on 2009-07-20, modified 2017-05-10
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