作者: Veit Luther , Gerhard Weber , Inka Dr. Henze , Todd Dr. Gudgel , Bernd Schultheis
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摘要: Um Barrierebeschichtungen auch ohne den Einsatz von Vakuumbeschichtungsanlagen und die sich dadurch ergebenden Einschrankungen hinsichtlich der Wahl Substratmaterialien Substratabmessungen bereitstellen zu konnen, sieht Erfindung einen Gegenstand mit einem Substrat (1) einer darauf angeordneten Barrierebeschichtung vor, bei welchem (5) eine flammpyrolytische Metalloxid-haltige Schicht umfast.