Materiau comprenant un substrat en verre revetu d'un empilement de couches minces
作者： Andriy Kharchenko , Emilie Thollas , Bruno Mauvernay , Anne Durandeau , Chardonnal Etienne Sandre
DOI:
关键词:
摘要: L'invention a pour objet un materiau comprenant substrat en verre revetu sur au moins une de ses faces d'un empilement couches minces depuis ledit couche dielectrique inferieure, fonctionnelle metal ou nitrure metallique, superieure, d'oxyde titane partiellement cristallise sous forme anatase, metallique etant base Nb, NbN, W, WN, Ta, TaN l'un quelconque leurs alliages solutions solides.
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