Verbesserter Gasregler für thermisches Entgraten
作者： Eamonn O'halloran , Kieran Mcmahon
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摘要: TEM-Maschinen-Gashandhabungssystem, bei dem die Verbesserung ein fluidgesteuertes Druckregelteilsystem zum Steuern des Abgebens mindestens eines der TEM-Prozessgase ist, wobei das fluidgesteuerte Folgendes umfasst: a) einen Druckregler mit: 1) einem Gaseinlass und Gasauslass; 2) Ventil, dafur ausgelegt den Prozessgasfluss zwischen Gasauslass zu steuern; 3) einer Membran in mechanischer Kommunikation mit Ventil; 4) fluidgesteuerten Zylinder beweglich darin angeordneten Kolben Membran; b) Druckwandler Fluidkommunikation Uberwachen Prozessgasdrucks; c) digitalen Controller, Signal von empfangen; digitale Controller Druckwandlersignal verwendet, um Position Kolbens innerhalb Zylinders steuern, wodurch Biegezustand gesteuert wird, Offnungszustand Ventils steuert, des...
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