作者: Nettesheim Stefan
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摘要: Es ist eine Anordnung (1) und ein Verfahren zur Behandlung von mindestens einem Objekt (8) offenbart. Hierzu lonisationskammer/Plasmakammer (4) vorgesehen, die uber Hochspannungsleitung (3) mit der Hochspannungsquelle (2) verbunden ist. Eine erste Ventilgruppe (11) besitzt einen Knoten (16) zweite (12) (17), wobei zwischen ersten zweiten Pumpe (14) vorgesehen Behandlungskammer (6) fluide ebenfalls verbindbar.