Verfahren und Vorrichtung zum Verändern eines Materials in einem Volumenkörper

作者: Gottmann Jens , Wenzel Christian

DOI:

关键词:

摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verandern eines Materials, bei dem der Fokus Laserstrahls durch eine scannende Bewegung in einem Volumenkorper gefuhrt wird, um mit Laserstrahl mindestens Bahn den zu schreiben, wobei des relativ so dass die neben einer zweidimensionalen Bewegungskomponente gleichzeitig dazu senkrechte aufweist.Daruber hinaus Vorrichtung Materials Laser und Fokussiereinheit, Fokussiereinheit zur kontinuierlichen Veranderung Strahlrichtung ausgebildet ist, zwei senkrecht zueinander liegenden Bewegungskomponenten auch senkrechten bewegen.

参考文章(6)
Paul Corkum, David Rayner, Rod Taylor, Eli Simova, Cyril Hnatovsky, Ravi Bhardwaj Vedula, Fabrication of long range periodic nanostructures in transparent or semitransparent dielectrics ,(2006)
Roman Dr. Niedrig, Björn Dr. Wedel, Gunnar Köhler, Sven Dr Lindner, Sven Füssler, Optical arrangement for remote laser machining which creates a 3D working area ,(2006)
Alexander Mikhailovich Streltsov, Ljerka Ukrainczyk, Xavier Gerard Lafosse, Daniel Ralph Harvey, Yuhui Jin, Jiangwei Feng, Diane Kimberlie Guilfoyle, Laurent Joubaud, Jeffrey Alan Decker, Brandon Allen Bazemore, Methods of fabricating glass articles by laser damage and etching ,(2013)
Moshe Finarov, Giora Dishon, Ehud Tirosh, A method of laser processing ,(2011)