Sputtering in a glow discharge for spectrochemical analysis
作者： P. W. J. M. Boumans
DOI: 10.1021/AC60315A015
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摘要:
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sci-hub.se 参考文章(25)
A. v. Engel, M. Steenbeck, Elektrische Gasentladungen : ihre Physik und Technik Springer Berlin Heidelberg. ,(1932) , 10.1007/978-3-662-25701-2
Artur V. Hippel, Kathodenzerstäubungsprobleme. (III. Mitteilung) Zur Theorie der Kathodenzerstäubung Annalen der Physik. ,vol. 386, pp. 1043- 1075 ,(1926) , 10.1002/ANDP.19263862510
Thomas F. Fisher, C. E. Weber, Cathodic Sputtering for Micro-Diffusion Studies Journal of Applied Physics. ,vol. 23, pp. 181- 183 ,(1952) , 10.1063/1.1702170
Erich Blechschmidt, Kathodenzerstäubungsprobleme. (II. Mitteilung) Die Kathodenzerstäubung in Abhängigkeit von den Betriebsbedingungen Annalen der Physik. ,vol. 386, pp. 999- 1042 ,(1926) , 10.1002/ANDP.19263862509
H. K�nig, G. Helwig, Über dünne aus Kohlenwasserstoffen durch Elektronen- oder Ionenbeschuß gebildete Schichten European Physical Journal. ,vol. 129, pp. 491- 503 ,(1951) , 10.1007/BF01330048
A. G. Gaydon, H. G. Wolfhard, R. M. Fristrom, Flames, their structure, radiation and temperature ,(1960)
Nils Laegreid, G. K. Wehner, Sputtering Yields of Metals for Ar+ and Ne+ Ions with Energies from 50 to 600 ev Journal of Applied Physics. ,vol. 32, pp. 365- 369 ,(1961) , 10.1063/1.1736012
D. Rosenberg, G. K. Wehner, Sputtering Yields for Low Energy He+‐, Kr+‐, and Xe+‐Ion Bombardment Journal of Applied Physics. ,vol. 33, pp. 1842- 1845 ,(1962) , 10.1063/1.1728843
S.P. Wolsky, E.J. Zdanuk, D. Shooter, The sputtering of compounds Surface Science. ,vol. 1, pp. 110- 118 ,(1964) , 10.1016/0039-6028(64)90021-4
W. Grimm, Eine neue glimmentladungslampe für die optische emissionsspektralanalyse Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. ,vol. 23, pp. 443- 454 ,(1968) , 10.1016/0584-8547(68)80023-0