Anordnung und Verfahren zur Bearbeitung einer Fläche in einem Bearbeitungsvolumen eines transparenten Materials mittels einer fokussierten Strahlung

摘要: Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bearbeitung einer Flache (11) in einem Bearbeitungsvolumen (300) eines transparenten Materials (3) mittels fokussierten Strahlung (1) mit Einrichtung Erzeugung (100) und Optik (2, 200, 202) Fokussierung (1), Veranderung (400) der Lage des Fokus (4) Steuereinrichtung (500). weiterhin ein entsprechendes Verfahren sowie Steuerprogrammprodukt. Ihre Aufgabe ist es, zu beschreiben, die Arbeiten kostengunstige erlauben, jedoch hochster Qualitat erfolgt. Diese wird gelost durch Anordnung, eingerichtet ist, jeder beliebigen Richtung langsame Scanbewegung im unabhangige schnelle Teilbereich (600) Bearbeitungsvolumens vollziehen, gesamten bewegbar ist; Scanmuster kodiert das mindestens lateralen Grundkomponente (13) x- und/oder y-Richtung aufweist, uberlagert von Komponenten synchroner Richtungswechselbewegungen z-Richtung x-Richtung y-Richtung. entsprechende