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    Impact of oxygen incorporation at the Sl3N4

    作者： MAN CHANG , Yongkyu JU , Joonmyoung LEE , Seungjae JUNG , Hyejung CHOI

    DOI:

    关键词:

    摘要:

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    来源期刊
    Applied physics letters American Institute of Physics
    • 2008 年,
    • Volume: 93, Issue: 2,
    • Page: None
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