摘要: In der Arbeit wird der Oxidationsprozess von epitaktischen Niob (110) Schichten auf a-plane Saphir Substraten an Luft untersucht. Hierbei wird im wesentlichen die Methode der Röntgenstreuung eingesetzt, um die Oxidation auf atomarer Ebene zu studieren. Neben der Oxidbildung (amorphes Nb O) wurde erstmals auch die Bildung geordneter Sauerstoff-Überstrukturen im Nb (110) Gitter beobachtet. Diese geordneten Gittergasphasen können als Vorstufen des eigentlichen Oxidationsprozesses angesehen werden. Sie zerstören noch nicht die Nb (110) Gitterstruktur sondern dehnen sie nur in Wachstumsrichtung um bis zu 4, 3% aus. Erst wenn es energetisch nicht mehr möglich ist weitere Sauerstoffatome im Nb Wirtsgitter einzulagern, brechen die Nb-Nb-Bindungen auf und es kommt zum eigentlichen Oxidationsschritt, dh der Bildung von amorphem Nb O.
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