稀土金属抛光金刚石膜技术

摘要: 研究开发了一种有效地抛光化学气相沉积金刚石厚膜的技术.该技术利用化学活性很强的稀土金属镧的金刚石的化学反应,在一定的工艺条件下可对金刚石膜进行有效的抛光.抛光绵高低与抛光温度有关,在温度大于900℃时抛光效率较高,可达34μ/h,表面度可从原来的Ra 12μm降至Ra1.6μm,如用于后续的精抛光,可大大光的时间和提高抛光效率,使表面十分粗糙的金刚石厚膜的精抛光能得以经济地进行.