作者: H. M. Manasevit , W. I. Simpson
DOI: 10.1063/1.1713618
关键词: Sapphire substrate 、 Silicon on sapphire 、 Substrate (electronics) 、 Monocrystalline silicon 、 Single crystal silicon 、 Materials science 、 Optoelectronics 、 General Physics and Astronomy
摘要: