Vacuum Deposition of Thin Films

作者： L. Holland , Joseph Greenspan

DOI: 10.1149/1.2428554

关键词: Composite material 、 Carbon film 、 Combustion chemical vapor deposition 、 Materials science 、 Thin film 、 Physical vapor deposition 、 Layer by layer 、 Pulsed laser deposition 、 Vacuum deposition