ロードポート装置、搬送システム、及びコンテナ搬出方法

作者: 冨永 忠正

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摘要: 搬送車に積み込まれる密閉コンテナの内部ガスの濃度の低下を防ぐ。ロードポート装置は、ガスポートを有するコンテナ(27)を天井搬送車(59)による外側コンベアユニット(49)まで搬送するための装置であって、搬送コンベア(47)と、パージ装置(73)と、ストッカコントローラ(101)とを備えている。搬送コンベア(47)は外側コンベアユニット(49)まで延びる。パージ装置(73)は、外側コンベアユニット(49)の近傍に配置され、ガスポートに接続されることでコンテナ(27)の中にパージガスを供給するための給気ノズル(79)と、給気ノズル(79)を給気ポート(65)に接近離反させる第1昇降機構(87)とを有する。ストッカコントローラ(101)は、パージ装置(73)によるコンテナ(27)の中へのパージガスの供給を制御するものであり、天井搬送車(59)の外側コンベアユニット(49)への到着に基づいてパージ装置(73)によるコンテナ(27)へのパージガスの供給を停止させる。

参考文章(7)
Hideo Nakada, 俊貴 中島, 英男 中田, Toshiki Nakajima, Apparatus and method of transporting substrate, and semiconductor fabrication apparatus ,(2005)
Yoichi Mototsugu, 陽一 本告, Ceiling travel vehicle system ,(2003)
Adachi Noriyuki, Komatsu Masami, Seto Takanori, Seki Hidetoshi, IDENTIFICATION SYSTEM OF SUBSTRATE SHIPPING BOX ,(2008)
Jiyorujiyu Garitsuku, Andore Rafuondo, FULLY-AUTOMATIC AND COMPUTERIZED CONVEYOR-BASED PRODUCTION LINE ,(1994)
Susumu Maetaki, 正直 村田, 進 前滝, Masanao Murata, Transportation system of container and container for measuring ,(2006)