Low‐Temperature Deposition of Highly Textured Aluminum Nitride by Direct Current Magnetron Sputtering for Applications in Thin‐Film Resonators

作者： R. S. Naik , R. Reif , J. J. Lutsky , C. G. Sodini

关键词: Optoelectronics 、 Thin film 、 Partial pressure 、 Substrate (electronics) 、 Materials science 、 Deposition (phase transition) 、 Nitride 、 Sputter deposition 、 Direct current 、 Mineralogy 、 Cavity magnetron