Deep Dry Etching of Silicon - A Novel Micromachining Tool
作者： T. Tschan , C. Linder , N. F. de Rooij
DOI:
关键词: Dry etching 、 Materials science 、 Silicon 、 Optoelectronics 、 Etching (microfabrication) 、 Microelectromechanical systems 、 Bulk micromachining 、 Surface micromachining 、 Reactive-ion etching
摘要:
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