Influence of plasma treatment on the surface roughness of vapour-deposited metal films
作者： H.-J. Tiller , U. Demme , D. Lenke , P. Bühner , K. Meyer
关键词: Surface roughness 、 Composite material 、 Plasma treatment 、 Materials science 、 Metal 、 General Materials Science 、 General chemistry 、 Condensed matter physics
摘要:
sci-hub.se 参考文章(7)
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