Verfahren zur transmissionserhöhung an einer mit ionenstrahlung reparierten stelle auf einer photomaske mittels thermischer desorption
作者： Ralf Ludwig , Michael Schopp , Ulrich Wiedenmann
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摘要: Verfahren zur Transmissionserhohung an einer mit Ionenstrahlung reparierten Stelle auf Photomaske mittels thermischer DesorptionErfindungsgemas ist ein verbessertes Reparatur von opaken Defekten bereitgestellt, wobei zunachst eines Ionenstrahls Gallium-Ionen eine Opak-Chrom-Reparatur durchgefuhrt wird, und anschliesend Veraschungsprozesses durch thermische Desorption die aus dem Quarzblank entfernt werden.
lens.org 参考文章(1)
Zheng Cui, Philip D Prewett, John G Watson, Optimization of FIB methods for phase shift mask defect repair Microelectronic Engineering. ,vol. 30, pp. 575- 578 ,(1996) , 10.1016/0167-9317(95)00313-4