Magnetically driven vibrating beam force transducer

摘要: Un transducteur de force a branche vibrante susceptible d'etre mis en oeuvre dans un dispositif micro-usine silicium tel qu'un accelerometre comprend une (18) avec axe longitudinal (19) et circuit d'entrainement electriquement couple la facon faire osciller frequence resonance qui est fonction d'une appliquee le long l'axe branche. A transducer vibrating part capable of being implemented in silicon micromachined device such as accelerometer comprises branch with axis and driving electrically coupled to the arm so oscillate at resonant frequency which is function applied along branch. Le applique courant electrique branche, ou partie conductrice celle-ci, conduit d'un trajet composante axiale parallele longitudinal. The drive applies an electric current branch, or conductive portion thereof, conducts path that includes axial component parallel axis. champ magnetique (B) genere intersecte axiale, sorte que interaction magnetique, produisant fait resonance. magnetic field generated intersects component, interacts producing oscillates frequency. Dans mode preferentiel realisation, forme diapason deux extremites s'etend remonte l'autre In preferred embodiment, has shape tuning fork both ends extends back other