Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelementes
作者： Benzel Hubert , Schelling Christoph
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摘要: Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Schalter, umfassend Substrat mit zumindest einer Aussparung, wobei im Bereich der Aussparung zwei elektrisch leitende Kontaktflachen angeordnet sind und einen Aktor, die mittels des Aktors zum elektrischen Leiten in Kontakt miteinander bringbar sind.
lens.org 参考文章(6)
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Christoph Schelling, Hubert Benzel, Frank Schaefer, Simon Armbruster, Gerhard Lammel, Jörg Brasas, Fabrication of semiconductor component, e.g. micro-mechanical diaphragm sensor, by forming second region of second doping above first region of first doping, dissolving semiconductor material in first region, and depositing sealing layer ,(2004)
Joerg Brasas, Hubert Benzel, Christoph Schelling, Simon Armbruster, Frank Schaefer, Gerhard Lammel, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements sowie ein Halbleiterbauelement, insbesondere ein Membransensor ,(2004)