作者:
DOI: 10.4191/KCERS.2005.42.2.088
关键词:
摘要: 아크 이온 플레이팅과 스퍼터로 구성된 하이브리드 시스템을 이용하여 다성분계 Ti-Al-Si-N 코팅막을 WC-Co 기판에 증착하였다. 증착시 Si 함량을 변화시켜 코팅막의 마모특성에 함량이 미치는 영향에 대하여 조사하였다. 마모 특성을 관찰하기 위하여 코팅막이 증착된 원판에 3 N의 하중, 0.1 m/s 속도로 볼 온 디스크(ball-on-disk) 형태의 마모시험기를 건식 실험을 하였다. 상대재로는 스틸볼과 지르코니아볼을 사용하였다. 상대재가 스틸볼의 경우 마찰계수 가 Ti-Al-N 마찰계수보다 낮게 나타났다. 이는 Si가 첨가되어 마모시 상대재와 코팅막 사이에 자기윤활효과(self-lubricant effect)에 의한 것으로 여겨진다. 코팅막과 스틸볼 응착 거동을 보였으며, 증가함에 따라 마찰계수는 감소하였다. 한편, 지르코니아 볼의 사이에서 연삭마모 거동이 더 지배적이었고, 증가할수록 증가하였다.