Anomalous Impurity Diffusion in III–V Compounds: The Consequence of Self‐Induced Field Effects

摘要: Self-consistent model calculations are presented of the diffusion ionized impurities with two different charge states, including self-generated electric field. Depending on states and background doping, strong deviations from complementary error function can occur without any local nonequilibrium effects: very flat, steep, concave compensated regions in profile as well “uphill” be explained a consequence self-induced field effects. Es werden selbstkonsistente Modellrechnungen der Diffusion ionisierter Storstellen mit zwei moglichen Ladungszustanden und unter Berucksichtigung des selbstinduzierten elektrischen Feldes durchgefuhrt. Je nach Ladungszustand Untergrunddotierung konnen starke Abweichungen von komplementaren Fehlerfunktion auftreten, ohne das lokale Nichtgleichgewichtseffekte angenommen mussen: Sehr flache, sehr steile kompensierte Bereiche sowie Linkskrummungen im Diffusionsprofil ebenso wie „Bergauf”-Diffusion als Folge selbstinduzierter Feldeffekte verstanden werden.