SUBSTRATE HOLDER FOR USE IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A METHOD OF MANUFACTURING A SUBSTRATE HOLDER
作者： De Groot Antonius , Nikipelov Andrey , Neklyudova Mariya
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关键词:
摘要: A method of producing a substrate holder for use in lithographic apparatus, the comprising main body having surface, wherein includes steps of: coating at least part with layer first material; and treating plurality discrete regions material laser irradiation to selectively convert said second different structure or density.
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