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作者: Elmer S Hung
DOI:
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,2010, 引用: 2
IEEE\/ASME Journal of Microelectromechanical Systems,1999, 引用: 597
Journal of Micromechanics and Microengineering,2011, 引用: 39
IEEE\/ASME Journal of Microelectromechanical Systems,1999, 引用: 370
,1999, 引用: 0
,2009, 引用: 0
,2000, 引用: 0