Direct writing laser doping from spun-on glasses
作者： G. Sanchez , J. L. Castaño , J. Garrido , J. Martinez , J. Piqueras
DOI: 10.1149/1.2085362
关键词: Laser beams 、 Laser 、 Boron 、 Direct writing 、 Mineralogy 、 Chemistry 、 Optoelectronics 、 Spreading resistance profiling 、 Sheet resistance 、 Doping
摘要:
harvard.edu
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