Gas-Laser-System, das ohne jeglichen Schaden innerhalb kurzer Zeit während der Wiederherstellung der Energieversorgung reaktivierbar ist

摘要: Ein Gas-Laser-System beinhaltet einen Laser-Oszillator, der eine Vorrichtung beinhaltet, die vorherbestimmte Bereitschaftszeit bis zum normalen Starten eines Betriebs nach dem Stoppen aufgrund einer Verringerung von Energiequelleneinheit zugefuhrten Energie erfordert, Steuereinrichtung, Energieverringerungserfassungseinheit und nichtfluchtige Speichereinheit, Zeitdaten ersten Zeitpunkts speichert, wenn erfasst wird. Die Steuereinrichtung berechnet Betriebsstoppzeit auf Basis Zeit Zeitpunkt zu einem zweiten Zeitpunkt, ein nachster Systemaktivierungsbefehl ausgegeben wird, verhindert Betriebswiederaufnahme Vorrichtung, innerhalb vorherbestimmten liegt.