무선 주파수(RF) - 스퍼터 증착 소스, 증착 장치, 및 그의 동작 방법
作者： Schnappenberger Frank
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摘要: 스퍼터 증착을 위한 증착 소스(10)가 제공된다. 소스는, 적어도 하나의 회전 가능한 캐소드(30), RF 전력 어레인지먼트(20), 및 캐소드와 어레인지먼트를 연결하는 전달 조립체(40)를 포함하고, 조립체는, 캐소드에 상기 어레인지먼트로부터의 에너지를 2개의 이격된 포지션들(32, 34)에서 동시에 제공하기 위한, 제 1 커넥터(42) 2 커넥터(44)를 포함한다.
lens.org 参考文章(2)
Zhigang Xie, Wei Wang, Zheng Xu, Jianming Fu, Radio-frequency sputtering system with rotary target for fabricating solar cells ,(2013)
Olaf Gawer, Sascha Kreher, Assembly for feeding in HF current for tubular cathodes ,(2012)