Membrane souple destinee a un filtre accordable fabry-perot
作者： Dale C. Flanders , Peter S. Whitney , Michael F. Miller
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摘要: L'invention concerne un filtre Fabry-Perot accordable comprenant une cavite optique fixee par reflecteur stationnaire et a membrane deformable ou mobile. Une seconde electrostatique situee l'exterieur de la comprend deux electrodes, des celles-ci etant mecaniquement couplee au tension appliquee aux electrodes dans statique entraine deflexion membrane, changeant ainsi longueur accordant le filtre. Le dote d'une mobile peut etre forme micro dispositif photolithographique processus fabrication partir d'un materiau semi-conducteur place structure monobloc dispositif. La comprendre partie interne qui est reliee l'interieur externe du corps modele sangle retenue. tel que sangles retenue droites radiales relient avec externe. Dans autre mode realisation, lequel sont disposees selon sensiblement spiral utilise.
参考文章(4)
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